洁净室运行管理的一些问题
一、过滤器的基本知识及其维护管理
(一)过滤器的基本知识
过滤器是洁净室的主要净化设备,是空气净化的主要手段。因此,对于从事洁净室设计、建造和维护管理人员了解和掌握过滤器的基本知识是十分重要的。
1、过滤器的分类
按过滤器的性能(效率、阻力、容尘量)来划分,通常将其划分成粗效、中效、高中效、亚高效、高效(HEPA)和超高效(ULPA)六类过滤器。
我国国家标准《空气过滤器》GB/T 14295-93中将不同过滤器的效率和阻力规定如下:
性能指标
性能类别
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额定风量下的大气尘限径计数效率
(E %)
|
额定风量下的初阻力
(Pa)
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粗效
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≥ 5.0μm
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80 > E > 20
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≤ 50
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中效
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≥ 1.0μm
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70 > E > 20
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≤ 80
|
高中效
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≥ 1.0μm
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90 > E > 70
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≤ 100
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亚高效
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≥ 0.5μm
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99.9 > E > 95
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≤ 150
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国家标准《高效空气过滤器》GB 13554-92中规定将高效过滤器按性能划分为A、B、C、D四类。D类又通称为超高效过滤器(或称为0.1μm高效过滤器或超低透过率过滤器)。
性能指标
性能类别
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效 率
(E %)
|
额定风量下的初阻力(Pa)
|
A
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额定风量下的钠焰效率
|
≥ 99.9
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≤ 190
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B
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额定风量和20%额定风量下的钠焰效率
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≥ 99.99
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≤ 220
|
C
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额定风量和20%额定风量下的钠焰效率
|
≥ 99.999
|
≤ 250
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D
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额定风量和20%额定风量下的≥0.1μm粒子效率
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≥ 99.999
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≤ 280
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国外将超高效过滤器(ULPA)的过滤效率指标规定为对于≥0.12μm粒子的过滤效率E≥99.9995%。
关于我国和欧美对过滤器的分类比较如下:
我国标准
GB/T 14295
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一般通风用
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洁净室用
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粗 效
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中效
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高中效
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亚高效
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高 效
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超高效
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美国
ASHRAE标准
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C1
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C2
C3
C4
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L5
L6
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L7
L8
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M9
M10
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M11
M12
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M13
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M14
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H15
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H16
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UH17
UH18
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UH19
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UH20
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