目 录
1.0 无尘车间管理的目的
2.0 无尘车间管理的原则
3.0 适用范围
4.0 术语
5.0 管理程序
5．1 无尘室施工管理制度
5．2 无尘室洁净度定期检测制度/测量标准
5．3 无尘室人员管理制度
5．4 无尘室洁净服管理制度
5．5 无尘室物流/洁净室内设备及工器具管理制度
5．6 无尘室清洁、清扫和灭菌管理
5．7 无尘室洁净室安全管理
6.0 版本更改记录
1．0 无尘车间管理的目的
半导体产品生产过程对车间有明确的洁净要求，为了满足生产工艺需要、保证产品质量、安全生产，必须对洁净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。
2．0 无尘车间管理的原则
2.1 进入洁净室的管理，包括对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬入以及相关的设备、管线的维护管理，应做到不得将微粒、微生物带入洁净室。
2.2 操作管理技术，对洁净室内人员用洁净工作服的制作、穿着和清洗；操作人员的移动和动作；室内设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等，尽可能地减少、防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。
2.3 严格各类设备、设施的维护管理，制定相应的操作规程，保证各类设备、设施按要求正常运转，包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具(工装夹具)等。以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等级。
2.4 清扫、灭菌管理，对洁净室内的各类设备、设施的清扫、灭茵以及方法、周期和检查作明确的规定，防止、捎除洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖。
2.5 洁净室环境控制的内容包括：空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。
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5．6 洁净室清洁、清扫和灭菌管理制度
5．6．1洁净车间及洁净车间走廊清洁操作程序见下表：
5．6．1-（A）洁净车间清洁操作程序
工具 吸尘器、防静电尘推、长软管、小毛刷、簸箕、
防静电尘推布头、伸缩杆、梯子、防静电去尘布
耗材 防静电去尘剂、防静电清洁剂。
清洁
部位 1、 车间墙；
2、 门窗、文件柜、地面
具 体 操 作 方 法
1、 用伸缩杆配合去尘布，自上而下，进行墙体清洁，对污染较重的局部用去尘布沾取少量纯防静电清洁剂擦 ，用去尘布揩拭干净。
2、 用伸缩杆不方便的局部，应用梯子按同上的操作方法清洁墙面（如柜子的上方）。
3、 墙面清洁完毕后，用吸尘器加软管吸取车间地面的粉尘，吸尘器应置车间的走廊上，软管进车间，吸尘扒头应从左到右，先远后近的区域进行吸尘，吸尘的区域不能有间隔，以免漏吸（换鞋套）。
4、 吸尘完毕后，用尘推按照吸尘的操作方法进行，局部污染较重的地方应用去尘布沾取少量纯防静电去尘剂，用湿去尘布清洁，然后用干防静电去尘布揩干。
5、 门窗内侧、柜子等附件的清洁用去尘布配合防静电清洁剂先上后下进行清理。
6、 整理工具，定期将吸尘器尘袋更换（地点：车间外）。
7、 车间内须回收的废料放置在防静电车上，从车间西门运至成品库门口（通知外围保洁员接应），并分类集中至成品库内。
8、 车间垃圾具体清理程序见后附文件。
备注 以上所用工具及耗材均应符合要求规定。
5．6．1-（B）洁净车间走廊操作程序
工具 防静电尘推、擦地机、吸水器、长软管、扫帚、梯子、防静电去尘布、防静电尘推布头
耗材 防静电蜡、防静电清洁剂、防静电去尘剂
清洁
部位 1、墙面；2、门窗；3、消防设施；4、地面
具体操作方法
1、A)用伸缩杆配合去尘布，自上而下，由左向右，进行墙体清洁，对污染较重的局部用纯防静电清洁剂，用去尘布揩拭干净。
B)用伸缩杆不方便的局部，应用梯子按同上的操作方法清洁墙面；对于石膏墙墙体用吸尘器自上而下吸取浮尘。
2、用去潮尘布配合防静电清洁剂先上后下，由左至右进行清理。
3、用无尘布由上侧、外侧及内面全部擦拭干净，整理好消防设备并检查有无损坏，完好后把门关闭；
4、用防静电尘推由一侧，依次推尘清洁。
打蜡程序 用起蜡水先行起蜡，用吸水机吸净残蜡，用清洁拖布脱水后拖净地面，等地面彻底风干，再打防静电地板蜡（具体方法和步骤详见5．6．2条）。
备注 以上所用工具及耗材均应符合公司要求规定。正在清洁的区域应设置标志牌，且清洁工作不得与威世员工的正常工作冲突。
省略部分……
5．6．2 地面打蜡的方法和程序
5．6．2．1 需要准备的机器和工具、清洁剂：
? 洗地机；吸尘吸水机；抛光机；大面积作业需配备自动洗地机
拖把、蜡拖、拖把扭干器、水推?
除蜡剂、中性多功能清洁剂?
? 除蜡垫（黑色）、清洁垫（红色、白色）、抛光垫（白色）
5．7 洁净室洁净室安全管理
洁净室安全管理，已经包括在《FSD-SOP-8-2 消防火警处理规程》内，需要严格执行。
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